什么是压电多轴纳米位移台?
什么是压电多轴纳米位移台?压电多轴纳米位移台是多个纳米位移平台组合而成的多轴运动和定位产品,包括2轴,3轴,4轴,5轴等,形式多样,可根据需要定制。
压电多轴纳米位移台适用于物理科学,工业,半导体等领域,多轴纳米位移台,分辨率高,行程大,操作简单,定位准确,能在真空下使用等优点。
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等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)有哪些部分组成?
等离子体增强化学气相沉积系统哪些部分组成(PECVD)?很多老师不了解PECVD的组成,下面卓聚科技小编为大家介绍一下。
等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD),生长样品腔的管径60-120mm,它是由高温管式炉、多路高精度流量控制与供气系统、机械泵、真空密封及测量系统、尾气处理系统组成,极限真空度可达 10^-5 torr 。
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