等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术基础
今天卓聚科技小编来给大家介绍一下等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备的技术基础。
1、等离子体增强化学气相沉积的主要过程
等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。由于PECVD技术是通过应气体放电来制备薄膜...
什么是等离子体增强化学气相沉积系统?
等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)
等离子体增强化学气相沉积-制取方法
在沉积室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法。等离子体增强化学气相沉积是:在化学气相沉积中,激发气体,使其产生低温等离子体,增强反应物...
什么是纳米位移台?纳米位移台的工作原理是什么?
卓聚科技小编为您介绍一下什么是纳米位移台以及纳米位移台的工作原理是什么。
纳米位移台由压电陶瓷驱动器、柔性铰链机械系统、传感器、控制器、软件及标定系统组成,是仪器和设备领域的共性关键器件。广泛应用于半导体设备、显微成像、纳米技术、激光与光学、航天航空、生物医学、航天航空、国防军工等领域。
纳米位移...