纳米位移台的响应速度受多种因素影响，这些因素涉及机械、电气和控制系统的各个方面。以下是主要影响因素及其作用机制： 1. 驱动机制 驱动类型 压电陶瓷驱动：响应速度快（微秒级），但位移范围小（通常<100 μm）。 音圈电机：响应速度较快（毫秒级），适合中等行程（毫米级）。 步进电机/伺服电机：响应速度较慢（毫...

纳米位移台在精密定位中容易受到振动和噪声的影响，这些干扰会显著降低其精度和稳定性。以下是针对振动和噪声问题的系统解决方案： 1. 振动来源分析与隔离 （1）外部振动隔离 被动隔振 使用气浮隔振台或弹性阻尼材料（如橡胶、弹簧）吸收地面振动（频率范围：1-100 Hz）。 将位移台放置在独立地基或厚重的大理石平台上，...