什么是纳米位移台?纳米位移台的工作原理是什么?
卓聚科技小编为您介绍一下什么是纳米位移台以及纳米位移台的工作原理是什么。
纳米位移台由压电陶瓷驱动器、柔性铰链机械系统、传感器、控制器、软件及标定系统组成,是仪器和设备领域的共性关键器件。广泛应用于半导体设备、显微成像、纳米技术、激光与光学、航天航空、生物医学、航天航空、国防军工等领域。
纳米位移台的工作原理
纳米位移台主要采用运动控制技术,由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。
内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动,其产生单轴或者多轴的运动;通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大;经电容传感器将运动信息传递给控制系统,再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制;在对运动系统进行闭环控制时,可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。
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