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压电驱动纳米位移台的出现，解决了传统纳米台行程小而微米电动台分辩精度不高的问题。在科研市场、半导体市场、先进制造业、生物医药行业、光学、通信等领域已广泛应用。
纳米位移台的工作原理
纳米位移台主要采用运动控制，由光、机、电、控制软件等多领域技术集成的运动控制技术。
内部由一个或多个压电陶瓷作为驱动，其产生单轴或者多轴的运动；通过柔性铰链技术将压电陶瓷产生的运动传递和放大；经电容传感器将运动信息传递给控制系统，再由控制系统对该运动进行修正、补偿和控制；在对运动系统进行闭环控制时，可实现纳米、亚纳米级别的运动分辨率和运动控制精度。

压电三轴纳米探针台

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