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分辨率高的长行程纳米位移台有哪几种?

ML-92A与XYMF-133-100A均为长行程纳米平移台,具有分辨率高,行程大,带有高精度及高分辨率的位置反馈,操作简单,定位准,能在真空下使用等优点,其中XYMF-133-100A平移台可实现在XY二维空间上的准确定位,可应用于需要纳米精度运动操作及定位的各个领域。

该纳米位移台产品使用压电陶瓷驱动,运动无需润滑,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。能够步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。支持开环/闭环控制。

压电直线纳米位移台ML-92A

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