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纳米位移台的分辨率和精度是两个重要但不同的性能指标：
1. 分辨率
定义：分辨率是指纳米位移台能够检测到或实现的最小位移增量。简单来说，就是设备能“移动”或“感知”的最小步长。
影响因素：分辨率通常受限于驱动系统的细微运动能力和控制电子设备的噪声水平。例如，压电驱动器的分辨率可以达到纳米级甚至亚纳米级。
重要性：高分辨率意味着位移台能更细致地控制位移，尤其在超高精度定位和测量中非常重要。但是，高分辨率并不一定意味着高精度。
示例：分辨率通常以纳米（nm）甚至皮米（pm）为单位，例如0.1 nm。
2. 精度
定义：精度是指纳米位移台在期望位置和实际到达位置之间的误差。它表明设备在多次移动到同一位置时的准确性。
影响因素：精度受限于多个因素，包括位移台的机械稳定性、温度变化、系统噪声、非线性误差（如迟滞和回程）以及校准精度等。
重要性：高精度表示设备能够可靠地到达并保持所需位置，对于需要高定位准确性的应用（如精密加工、扫描显微镜等）至关重要。
示例：精度通常以微米（µm）或纳米（nm）为单位，比如1 nm的精度表示设备在指定位置的偏差不超过1 nm。
3. 区别与关系
范围不同：分辨率是系统能分辨的最小移动步长，而精度是最终位置与目标位置之间的误差。
测量对象不同：分辨率通常针对位移增量，而精度关注位置控制和重复定位的准确性。
应用不同：在需要精确定位的应用中，精度通常比分辨率更重要；而在探测微小变化的应用中，分辨率尤为关键。
相互影响：高分辨率有助于提高精度，但并不能完全保证精度。系统设计、材料选择和环境控制等因素对精度影响更大。
总结
分辨率表示最小的移动增量，通常和驱动与检测系统的灵敏度有关；
精度则是实际位置和目标位置的偏差，受制于机械结构、环境影响和控制系统。
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