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纳米位移台的行程范围（travel range）通常根据其设计类型、应用场景和驱动方式的不同而有所差异。以下是常见类型的纳米位移台及其典型行程范围：
1. 压电驱动纳米位移台（Piezo Stage）
行程范围： 5 µm 到 500 µm（部分特殊设计可达 1 mm 或更高）。
特点：精度高，可达纳米级甚至亚纳米级。
行程通常较短，适合高精度、小范围的定位与扫描。
应用场景： 原子力显微镜（AFM）、扫描隧道显微镜（STM）、光纤耦合、对准等。
2. 压电步进纳米位移台（Piezo Stepper Stage）
行程范围： 1 mm 到 50 mm（部分可达 100 mm）。
特点：结合压电效应和步进驱动，实现较大行程和高分辨率。
适合需要更长行程且保持高精度的应用。
应用场景： 显微镜台、装配与测试系统、光学对准。
3. 电机驱动纳米位移台（Motorized Nano Stage）
行程范围： 10 mm 到 200 mm（部分特制的可达 300 mm 以上）。
特点：使用伺服电机或步进电机，行程长但分辨率稍低（通常在纳米到微米级）。
适合中长行程需求，精度通常在 50 nm 到 200 nm 之间。
应用场景： 激光加工、半导体封装、自动化检测设备。
4. 直线电机纳米位移台（Linear Motor Stage）
行程范围： 50 mm 到 500 mm（特定设计可超过 1 m）。
特点：无接触驱动（无摩擦），行程长且速度高。
分辨率通常为 10 nm 到 100 nm 之间。
应用场景： 光刻、激光微加工、快速扫描系统。
5. 复合型纳米位移台（Hybrid Stage）
行程范围： 数十纳米到数百毫米（视具体组合而定）。
特点：结合压电与电机驱动，既能实现超高精度也能保证长行程。
应用场景： 纳米级制造、微纳光学器件装配、复杂轨迹运动控制。
以上就是卓聚科技提供的纳米位移台的行程范围的介绍，更多关于位移台的问题请咨询15756003283(微信同号)。