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如何对纳米位移台进行零位校准?

纳米位移台进行零位校准(又称为“回零”或“原点校准”)是确保其位置测量精度和重复性的关键步骤,特别是在进行高精度扫描、定位或对齐任务时。以下是常见的零位校准方法和注意事项:
常用零位校准方法:
1. 使用内建零位传感器(限位开关)
很多纳米位移台内置原点或限位传感器。
校准方法:
启动“回零”指令,控制器会以低速向一个方向移动;
触发原点开关后停止并设当前位置为零位;
若有需要,系统会再做微调(反向回退再定位)以提高精度。
2. 手动设定当前位移为零
适用于没有物理原点的系统,或者需要以当前点为参考零点的情况。
校准方法:
在控制软件或指令行输入 SetPosition = 0,将当前位置设置为逻辑零点;
常用于相对运动控制中。
3. 使用外部参照标记或干涉仪校准
在高精度应用中,可使用激光干涉仪或光学标志物辅助校准。
方法:
将位移台移动到干涉仪零差位置;
设置当前位置为系统“零点”;
适用于纳米级重复定位任务。
⚠ 校准时的注意事项:
确保无外力或负载干扰,样品应固定牢靠;
使用闭环控制模式,保证反馈准确;
若平台具有多轴联动,各轴应独立回零,避免互相干扰;
若环境温度变化较大,应在恒温条件下校准,以减少漂移;
对于真空或强磁环境下的使用,需使用专用无感或低干扰传感器进行校准。
以上就是卓聚科技提供的如何对纳米位移台进行零位校准的介绍,更多关于位移台的问题请咨询