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纳米位移台的“惯性行走方式”是一种基于惯性原理的微纳驱动方式，常用于压电纳米位移系统中。它也叫做惯性驱动（Inertial Drive），其核心思想是利用压电材料在不同速率下产生的“粘-滑”效应，实现精密运动。
原理简述：
惯性行走依赖于 快速与慢速驱动的不对称响应：
慢速驱动阶段：压电陶瓷缓慢伸长或收缩，样品台或滑块因为摩擦力较大，跟随移动。
快速驱动阶段：压电陶瓷迅速回弹，由于加速度大，滑块因惯性与压电体脱离滑动或部分脱离，保持原位或略有滑动。
结果：整个周期下来，滑块产生一个净的微小位移。
连续重复这个周期，即可形成步进式运动。
特点：
无需螺杆或齿轮，适合微纳尺度；
可以实现亚微米甚至纳米级的定位精度；
常见于闭环或开环压电纳米驱动器；
驱动方式有时也叫做“stick-slip”运动。
优点：
结构紧凑，适合小空间环境；
能实现大行程与高分辨率结合；
驱动过程无电机噪音；
耗能低，控制灵活。