
纳米位移台是否可以用于高速振动或动态扫描场景?
纳米位移台在特定条件下是可以用于高速振动或动态扫描场景的,但是否适用取决于以下几个关键因素:
可以应用的前提条件:
驱动机构适配:
使用的是压电驱动器(Piezo Actuator)的位移台,具备高带宽、高响应速度,能实现kHz 到 MHz 级别的动态响应,适合振动或快速扫描。
负载较轻:
在高速运动中,负载质量越小,响应越快。重负载会限制系统加速度和谐振频率,影响动态性能。
闭环控制系统支持高带宽反馈:
高速运动需要高带宽的位置传感器(如干涉仪、电容传感器)和快速控制器,才能确保在振动或快速变化过程中保持精度。
结构刚性高:
纳米位移台需要具备高机械刚性和低内耗结构,才能避免共振放大和系统变形。
⚠ 注意的限制因素:
限制因素说明
谐振频率限制 超过位移台本身机械谐振频率会引发不稳定,导致放大误差或机械损伤。
温升与自热 高频驱动下,压电材料可能持续发热,导致热漂移或性能下降。
控制延迟和误差 控制器响应时间不够快时,会出现跟踪误差,尤其在非线性路径或复杂扫描下。
工作行程受限 高速运动一般牺牲部分行程换取响应速度,适合小幅振动或重复扫描而非大范围长程移动。