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安装纳米位移台时，对平台的水平度有一定要求，这是为了保证其高精度定位性能和长期稳定性。以下是常见的要求和建议：
一、平台水平度的基本要求
水平度误差建议小于 0.1 mm/m（或0.01°）
对于高精度纳米位移系统，平台表面应尽量保持水平，以避免：
重力对运动部件产生横向分量，影响精度；
造成负载不均，影响传动系统的受力；
在闭环控制系统中引入误差。
精密应用建议更严 如果使用的是压电型或电容反馈闭环控制的纳米位移台，建议平台水平度达到：
≤ 0.05 mm/m 或 ≤ 0.003°（大约10角秒）
二、水平度的重要性体现在哪些方面？
重复定位精度：倾斜会引入惯性变化，影响位移重复性；
负载均衡：重力偏移可能导致运动机构一边受力大，磨损不均；
反馈误差：传感器测量方向与实际运动方向不一致时，误差增大；
校准基准一致性：水平不准会影响与光学器件、探针、样品台等的对准；
三、怎么确保平台水平？
使用高精度电子水平仪或光学水平仪；
安装前可在平台表面垫高精密调整垫片；
使用三点调节结构进行初调；
对于长期使用环境，应定期检查并调整水平状态，尤其是在温湿度波动大的场所。
四、是否绝对要求“完全水平”？
不是“完全”水平，但需要控制在设备说明书的误差范围内，尤其是：
行程越大、负载越重、精度越高的纳米位移台，对水平度越敏感；
某些Z轴或倾斜补偿位移台可能可以容忍一定倾斜，但仍建议校正。