压电纳米位移台优势有哪些?
压电驱动纳米位移台,使用压电陶瓷作为运动促动元件,可以在数百毫米范围内实现亚纳米级别的Z小步长,从而解决了传统纳米台行程小而微米电动台分辩精度不高的问题。在科研市场、半导体市场、先进制造业、生物医药行业、光学、通信等行业有广泛应用。
压电纳米位移台优势:
1、结构紧凑,高刚性。
2、高精度柔性铰链导向系统。
3、室温到液氦工作温度,超高真空兼容。
4、压电陶瓷促进器具有超长使用寿命。
5、带位移传感器,提供位置和速度闭环控制。
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