什么是等离子体增强化学气相沉积系统?
等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition,PECVD)
等离子体增强化学气相沉积-制取方法
在沉积室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法。等离子体增强化学气相沉积是:在化学气相沉积中,激发气体,使其产生低温等离子体,增强反应物...
压电纳米位移台厂家-位移台价格
压电纳米位移台是通过压电马达驱动控制的电动位移台,不同于传统的步进马达,直线电机,电磁马达等驱动形式,压电马达是利用逆压电效应的原理,通过压电陶瓷在电场作用下(一般在共振状态下)产生的形变,由摩擦耦合推动滑台动子的运动,从而驱动平台的位置移动。压电纳米位移台断电时保持自锁,从而不消耗能量,不发热...
纳米位移台的应用领域有哪些?
纳米位移台的应用领域有哪些?卓聚科技小编为大家介绍一下纳米位移台的应用有哪些和组成。
纳米位移台的特点是纳米级高分辨率及精度、毫秒至亚毫秒级快响应速度、简便的控制方式、低成本等,因此具有非常广泛的应用领域,如显微成像、激光加工(晶圆切割)、微纳车削加工、图像分辨率增强、光学检测移相器等快速微纳致动...
什么是压电多轴纳米位移台?
什么是压电多轴纳米位移台?压电多轴纳米位移台是多个纳米位移平台组合而成的多轴运动和定位产品,包括2轴,3轴,4轴,5轴等,形式多样,可根据需要定制。
压电多轴纳米位移台适用于物理科学,工业,半导体等领域,多轴纳米位移台,分辨率高,行程大,操作简单,定位准确,能在真空下使用等优点。
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等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)有哪些部分组成?
等离子体增强化学气相沉积系统哪些部分组成(PECVD)?很多老师不了解PECVD的组成,下面卓聚科技小编为大家介绍一下。
等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD),生长样品腔的管径60-120mm,它是由高温管式炉、多路高精度流量控制与供气系统、机械泵、真空密封及测量系统、尾气处理系统组成,极限真空度可达 10^-5 torr 。
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