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二维材料转移台2DTrans-ams-03，全电动二维材料转移台，是专为解决手动转移过程 中由手的抖动带来的这一不良结果，并充分还原手动转移过程中的手感与 操作方式，给予更好的精确度和掌控性。同时也是一款专为手套箱环境设 计的二维材料转移台，用于解决水氧敏感材料的转移痛点。并且还是一款 专为转移“魔角”样品而设计的二维材料转移台。

低温液氮探针台，真空腔体：真空度优于6×10-3Pa。降温后优于6×10-4Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。

微型超高真空光栅尺，体积小，结构紧凑；适用于超高真空使用；良好的耐高温性，最高可达100°C；精度高，绝对精度±3μm（20°C）；采用玻璃栅尺，膨胀系数小，读数稳定性良好；分辨率高，配合TF15细分接头，读数分辨率可达4nm；安装容许公差大（容许误差±0.1mm）。

多功能电感耦合等离子体增强化学气相沉积系统是由我团队成员自主研发，具有自主知识产权的产品。本系统具有低温无催化生长石墨烯，也可对石墨烯进行缺陷检测与修复及各向异性刻蚀等功能，也可用于生长其他二维材料。研究成果发表于各类顶级期刊。

压电物镜NF100LA采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，内部使用无摩擦及空回的柔性较链导向机构，确保了扫描台极佳的运动精度。扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。

压电陶瓷电机是最近20年发展起来的新技术。使用压电陶瓷电机的定位产品，结构简单，尺寸紧凑，可以在数十毫米范围内实现纳米级别的最小步长，从而解决了传统纳米台行程不足，而微米电动台分辨精度不高的问题。 卓聚科技率先在国内研发出能产品化的压电陶瓷电机线性位移平台和旋转台等超精密位移产品，性能指标达到国际先进水平，填补了此领域的国产产品空白。可广泛应用于半导体芯片、光通讯、生物医疗、电子显微、先进制造、科学研究等领域。

JS100A是卓聚科技自主开发的全国产化台阶仪。具有高精度，高分解能，搭配一体花岗岩结构，提供 稳定可靠的重复性测量。

室温探针台是卓聚科技专为较低预算客户研发的高可靠性探针台系统，主要应用在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

扫描探针显微镜（Scanning Probe Microscope，SPM）是扫描隧道显微镜及在扫描隧道显微镜的基础上发展起来的各种新型探针显微镜（原子力显微镜，静电力显微镜，磁力显微镜，扫描离子电导显微镜，扫描电化学显微镜等）的统称，是国际上近年发展起来的表面分析仪器，是综合运用光电子技术、激光技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工、自动控制技术、数字信号处理技术、应用光学技术、计算机高速采集和控制及高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品。

探针台和低温系统专注于为半导体领域、微纳米科学领域提供综合性解决方案，为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供先进的半导体及微纳米科学仪器，为祖国微纳米科学事业的腾飞贡献一份绵薄之力！

线性压电位移台-ML系列 ML-37A 垂直运动方向负载20N，沿运动方向负载4N。

超高真空组件和配件，提供各类高品质的真空零部件和模块