压电物镜NF100LA
采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，内部使用无摩擦及空回的柔性较链导向机构，确保了扫描台的运动精度。扫描台内置位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳...
压电物镜NF100LA
压电物镜NF100LA采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，内部使用无摩擦及空回的柔性较链导向机构，确保了扫描台极佳的运动精度。扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。