超高真空微型光栅尺-SMG26系列
超高真空光栅尺SMG26系列-微型光栅特点：
光栅尺体积小，结构紧凑；适用于超高真空使用；良好的耐高温性，高可达100°C；精度高，精度±3μm（20°C）；采用玻璃栅尺，膨胀系数小，读数稳定性良
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光栅尺
微型超高真空光栅尺，体积小，结构紧凑；适用于超高真空使用；良好的耐高温性，最高可达100°C；精度高，绝对精度±3μm（20°C）；采用玻璃栅尺，膨胀系数小，读数稳定性良好；分辨率高，配合TF15细分接头，读数分辨率可达4nm；安装容许公差大（容许误差±0.1mm）。